用HDH法制取鈦粉時(shí)，在脫氫過程中有大量氫氣揮發(fā)，系統(tǒng)真空度很低，一般采用單一的機(jī)械泵即可。如要制取低氫鈦粉，真空機(jī)組主泵宜用油增壓泵，而不用羅茨泵，這是因?yàn)槊摎湫Ч罢吆煤笳卟?。它的前級泵宜用機(jī)械泵。

冶金中涉及的幾個(gè)真空系統(tǒng)的實(shí)例都有一些共同點(diǎn)，即系統(tǒng)的工作壓力稍大，真空度較低，反應(yīng)器內(nèi)排氣量大并夾帶有較多的固體灰塵。這種真空系統(tǒng)屬中真空系統(tǒng)，應(yīng)用普遍，一般需要兩個(gè)以上的泵串聯(lián)組成。主泵選用油增壓泵一羅茨泵，也可以是單一的油增壓泵。下面進(jìn)行具體介紹。

鎂還原法煉鈦常采用真空蒸餾法精制海綿鈦，它的真空系統(tǒng)如圖7—9所示。采用這種真空系統(tǒng)能獲得較好的精煉效果。從理論上講，這種真空系統(tǒng)也可選擇油增壓泵一羅茨泵作主泵。實(shí)踐表明，采用羅茨泵作主泵時(shí)，初期使用效果良好，但繼續(xù)使用后，泵腔轉(zhuǎn)子和定子間隙很快被蒸發(fā)出的MgCl2等固粒堵塞無法繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。由于生產(chǎn)過程有大量MgCl2固粒蒸發(fā)，如選用羅茨泵作主泵，則必須采取有效的收塵措施，故只能用油增壓泵作主泵。主泵采用單一的油擴(kuò)散泵也不宜，這會(huì)延長蒸餾時(shí)間。這種真空系統(tǒng)的前級泵采用機(jī)械泵。

真空白耗電弧爐是熔煉鈦和鈦合金的主要爐型，它的真空系統(tǒng)如圖8—18所示。圖示的這種真空系統(tǒng)具有典型性，特別適用于鈦錠的熔煉。該系統(tǒng)以油增壓泵和羅茨泵為主泵，兩泵并聯(lián)，出口處串聯(lián)一羅茨泵，再串聯(lián)前級泵一機(jī)械泵。它兼有羅茨泵和油增壓泵的雙重特點(diǎn)，在真空白耗電弧爐熔煉過程的很寬的工作壓力范圍內(nèi)(130～0.1Pa)啟動(dòng)快，抽速很大。